Aerosoltechnik
Für die zuverlässige Prüfung der Leistungsparameter eingebauter Filter kommen Aerosolgeneratoren zum Einsatz, die ein Tröpfchen-Testaerosol im Größenbereich der Most Particle Penetration Size (MPPS) mit ausreichend hoher Konzentration erzeugen.
Dazu wird von Aerosolgeneratoren eine geeignete Flüssigkeit verdüst.
In Europa hat sich die Abnahme reinraumtechnischer Anlagen mit Di-Ethyl-Hexyl-Sebacat (DEHS) durchgesetzt. Die farblose, schwach flüchtige Flüssigkeit zeichnet sich durch eine sehr hohe Standzeit der erzeugten Tröpfchen aus.
Die Partikelgrößenverteilung des DEHS-Aerosols liegt im Bereich des MMPS und ist somit ideal für die Prüfung der Effizienz von HEPA- und ULPA-Filtern. Natürlich können auch andere Flüssigkeiten wie z.B. DOP (Di-Octyl-Phthalate), Emery 3004 oder Paraffin problemlos mit handelsüblichen Aerosolgeneratoren verdüst werden.
Ein sicheres Auffinden von Filterlecks in reinraumtechnischen Anlagen ist nur dann möglich, wenn anströmseitig eine ausreichend hohe Partikelkonzentration vorliegt. Diese ist in der VDI 2083 mit mindestens 1Mio Partikel/cf festgelegt.
Da Reinraumpartikelzähler diese hohen Partikelkonzentrationen nicht messen können, muss das Testaerosol um einen definierten Faktor verdünnt werden. Dies ermöglicht die Ermittlung von Roh- und Reingaskonzentration mit nur einem Messgerät.
Zu diesem Zweck werden verschiedene Verdünnungssysteme angeboten, welche standardmäßig mit verschiedenen Verdünnungsfaktoren und für unterschiedliche Probevolumenströmen geeignet sind.
Durch Nacheinanderschalten mehrerer solcher Verdünnungssysteme können problemlos Verdünnungsfaktoren von 10.000 oder 100.000 realisiert werden.
